主營(yíng)產(chǎn)品

減薄機，氣浮軸承，氣浮主軸，氣浮轉臺

優(yōu)勢產(chǎn)品

減薄機，氣浮軸承，氣浮主軸，氣浮轉臺 功能用途：本機器主要用于硅片、氮化硅、藍寶石、光學(xué)玻璃等超硬的平面減薄加工。 一、機器特點(diǎn)：1）本機器采用硅片自動(dòng)旋轉研磨法的原理為：如圖a采用略大于硅片的工件轉臺，工件通過(guò)真空吸盤(pán)在工件轉臺中心，磨輪邊緣調整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線(xiàn)回轉，進(jìn)行切入減薄，砂輪與工作的接觸長(cháng)度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定、加工狀態(tài)穩定，可以避免工件出現中凸和塌邊現象。尤其對較薄的工件表現較為明顯。 2)上、下研磨主軸均采用氣浮軸承結構，定子、轉子之間由于沒(méi)有機械軸承的摩擦力 ，磨損程度降到了最低，從而確保精度始終保持穩定。 3）氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。 4）氣浮主軸精確的、可重復的運動(dòng)，使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉子所經(jīng)受的、來(lái)自外負載的作用力，在其旋轉時(shí)穩定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān) 5）底座采用鑄件加大理石，Z軸進(jìn)給立柱采用大理石，提高機器整體剛性以及機器的穩定性。